GFC 低成本铝或不锈钢热式质量流量控制器
± 1% FS 精度为标准
刚性金属结构
可用流量范围从 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm
最大压力为 1000 psig （70 bar）
泄漏完整性 1 x 10-9 SCC 氦气
NIST 可追溯认证
内置可倾斜 LCD 读数器（某些型号）
本地或远程设定点控制
0-5 Vdc 和 4-20 mA 信号
电路保护
累加器选项
GFC 型热式质量流量控制器设计用于指示和控制气体的设定流量。
GFC 将传统质量流量装置的特性和精度结合到一个独特的紧凑设计中，以前所未有的低成本实现。这些控制器中的每一个都包含一个先进的“U”形管式传感器，以及由铝和黄铜制成的流道元件（用于非腐蚀性气体）或 316 不锈钢制成的流道元件（用于腐蚀性应用）。零点和量程调整可从发射机外部进行。
计量气体分为两个层流路径，一个通过主流管道，另一个通过毛细管传感器管。两种流管都旨在确保层流，因此它们的流速比是恒定的。
传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热，当发生流动时，气体将热量从上游绕组带到下游绕组。由此产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。
惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度，该梯度与瞬时流速成线性比例。
产生 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的输出信号，指示计量气体的基于质量分子的流速。
组合的气流流经一个带有适当选择孔口的比例电磁阀。闭环控制电路持续监测质量流量输出并将其保持在设定的流量。
在规定的限制范围内，流速不受温度和压力变化的影响。
紧凑、独立的 GFC 质量流量控制器设计用于指示和控制气体的流速。坚固的设计加上仪表级精度，提供了多功能和经济的流量控制方法。提供铝或不锈钢型号，读数选项为工程单位（标准）或 0 至 100% 显示。
内置电磁阀允许将流量设置为特定型号范围内的任何所需流量。作为一项安全功能，阀门通常关闭，以确保在停电时关闭气流。设定值可本地或远程控制。
传感器顶部内置的 LCD 读数器可倾斜 90 度以上，以提供最佳的读数舒适度。它通过标准模块化插头连接到传感器，并且易于拆卸，用于远程抄表安装。不带 LCD 读数的传感器可用于 OEM 应用。
GFC 质量流量控制器的流量范围为 10 sccm 至 1000 sL/min N2。气体通过 1/4“、3/8” 或可选的 1/8“ 压缩接头和 3/4” FNPT 接头进行连接。提供可选配件。这些控制器可用作台式装置，或通过底座中的螺钉进行安装。
传感器电源端口有熔断器和极性保护。泄漏完整性
1 x 10-9 smL/sec 的氦气最大到外部环境。
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